質量比混合法標準ガス Gravimatric Mixture Standard Gases

イオン注入装置には、主に下記のガスをご用意いたします。

We supply the following gases for ion implantation:

下記ガス以外にも、特殊な材料、流体、固体も取り扱い致します。

We also supply special materials not listed below, and materials in liquid or solid forms upon request.

高千穂にて製造しているイオン注入機用ガス一覧
Table of Ion Implantation Gases Manufactured at Takachiho

容器種類
Cylinder Size
ガスの種類
Gas or Mixture
充填圧力
Filling Pressure
容量
Contents
容器バルブ形状
Valve Type
接続
Outlet Size
0.35L AsH3 15%+H2 4.91MPa 17.5L  ダイアフラムバルブ
ストレート型(SUS)
Diaphragm Valve
Straight Type   
1/4PF
19山オス
19h male
PH3 15%+H2 4.91MPa 17.5L 
PH3 15%+He 4.91MPa 17.5L 
BF3 7.36MPa 100g
SiF4 4.91MPa 100g
Ar 4.91MPa 17.5L
1L AsH3 15%+H2 4.91MPa 50L ダイアフラムバルブ
アングル型(SUS)
Diaphragm Valve
Angle Type
22mm
14山左オス
14h left male

22mm 14
山右オス
14h right male
PH3 15%+H2 4.91MPa 50L
BF3 5.40MPa 200g
11BF3 2.95MPa 100g
Ar 4.91MPa 50L スピンドルバルブ
アングル型
Spindle Valve
Angle Type
3.4L AsH3 15%+H2 4.91MPa 170L ダイアフラムバルブ
アングル型(B)
Diaphragm Valve
Angle Type
22mm
14山左オス
14h left male

22mm
14山右オス
14h right male
PH3 15%+H2 4.91MPa 170L
BF3 2.75MPa 300g ダイアフラムバルブ
アングル型(SUS)
Diaphragm Valve
Angle Type
11BF3 1.97MPa 200g
Ar 4.91MPa 170L スピンドルバルブ
アングル型
Spindle Valve
Angle Type
22mm
14山右オス
14h right male
その他の
材料ガス
Others
BCL3, Xe, Ne, O2, PF3, N2, CO2, B2H6 15%+H2, GeH4, AsH3, PH3
SDS® SDS2 AsH3  100% 21℃において
650±50Torr
3X 1320g ダイアフラム式
(フィルター内蔵)
Diaphragm
(Internal Filter)
1/2"VCRオス
1/2"VCR male
4X   440g
7X     88g
PH3     100% 3X   520g
4X   170g
7X     30g
11BF3 100% 3X   390g 1/4"VCRオス
1/4"VCR male
4X   130g
7X     26g
SDS3 AsH3  100% 21℃において
650±50Torr
3X 1965g ダイアフラム式
(フィルター内蔵)
Diaphragm
(Internal Filter)
1/2"VCRオス
1/2"VCR male
4X   655g
PH3     100% 3X   990g
4X   330g
11BF3 100% 3X   885g 1/4"VCRオス
1/4"VCR male
4X   295g

   注)   SDS2 3X=6.6L 4X=2.25L 7X=0.44L
           SDS3 3X=7.6L 4X=2.5L
           SDS2 及び SDS3 は同じサイズ(3X、4X)では容器外寸・高さ・装置接続部面間は同一寸法です。
Note) SDS2 3X=6.6L 4X=2.25L 7X=0.44L cylinder
           SDS3 3X=7.6L 4X=2.5L cylinder
           SDS2 and SDS3 are compatible in cylinder size, height, and connections.

上記以外のガスはお問い合わせ下さい。
Please inquire about other gases not listed above


イオン注入装置関連

Ion Implantation Related Services

  1. ガス配管工事、改造工事、容器取り付け作業、メンテナンスも行います。
  2. 特殊配管、認定部品も取り扱い致します。
  3. 0.35L、1Lサイズの容器は安全確保の目的で右下写真図のような専用ケース入りで供給いたします。
  1. We install gas piping and tubings, perform alterations, cylinder changes, and maintenance.
  2. We also accept special piping and tubing requests, and carry regulatory certified parts.
  3. For your safety, we provide our 0. 35L and 1L cylinders in special boxes as seen in the picture on the right.


 


イオン注入装置材料ガスの使用上の注意事項

Notes on using ion implantation gases

  1. イオン注入装置に使用される材料ガスは、毒性、腐食性、可燃性のものが多く、ガスの特性や緊急時の対応を十分にマスター
    しておくことが必要です。
    『製品安全データシート』を参考にして下さい。
  2. 空気マスク等の呼吸保護具をご用意下さい。
  3. 漏洩検知のために必要な検知器を必ずご用意下さい。
  4. イオン注入装置に使用されている特殊ガスはきわめて毒性の強いものが多く、そのための排ガス処理装置も必要です。
  5. イオン注入装置は、通常高真空が要求されます。使用されるガスが高圧のもの、それ以外のものであっても真空テスト、
    加圧テストの両方のリークテストが必要です。
  6. 真空テストには、Heリークディテクターを使用し、加圧テストは、N2または不活性ガスを使用し、各接続部の気密をご確認下さい。
  7. 圧力調整器の目盛りの減少を日々チェックし、リークの有無を検査し、さらに放置テストを行い圧力調整器のゲージの変動を
    チェックすることが必要です。
  1. Material gas used for ion implantation is commonly poisonous, corrosive, and flammable.
    A thorough knowledge of the gases’ characteristics and emergency care are needed before use. Please refer to the appropriate Material Safety Data Sheet for details.
  2. Please have air masks and other breathing protection apparatus ready at all times.
  3. Please be sure to install all the necessary leak detectors.
  4. Gas treatment and abatement systems are necessary due to the highly poisonous nature of most ion implantation gases.
  5. Ion implantation equipment normally requires high vacuum. Regardless of the pressure of gases used (be it high pressure or atmospheric pressure), leak test of both types―vacuum test and pressure test―are necessary.
  6. Please use helium leak detector for vacuum tests. Please use N2 or other inert gases for pressure tests, and confirm air tightness of all connections and joints.
  7. Daily readings of regulator gauges, and regulator performance checks including leak tests and gauge performance tests are very important.

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