半導体製造用ガス Semiconductor Gases

CF4
Tetrafluoromethane
四フッ化メタン
不燃性
 
容器バルブ
Cylinder Valve
22mm 右,左
B(D)
圧力調整器
Regulator
TUSシリーズ

CF4 R
99.999% Research
注 釈 別名 フロン-14,R-14,四フッ化炭素 MSDS
MSDS (CF4)

CH2F2
Difluoromethane
二フッ化メタン
可燃性
 
容器バルブ
Cylinder Valve
22mm 左、右 LG
SUS(D),B(D)
圧力調整器
Regulator
TUSシリーズ

CH2F2 R
99.99% Research
注 釈 別名 フロン-32,R-32,ジフロロメタン
*爆発限界がありますが、高圧ガス保安法上の
可燃性ガスには該当いたしません。
MSDS
MSDS (CH2F2)

CHF3
Trifluoromethane
三フッ化メタン
不燃性
 
容器バルブ
Cylinder Valve
22mm 右 LG
B(D)
圧力調整器
Regulator
TUSシリーズ

CHF3 R
99.99% Research
注 釈 別名 フロン-23,R-23 MSDS
MSDS (CHF3)