半導体製造用ガス Semiconductor Gases

Si3H8
Trisilicon Octahydride
トリシラン
可燃性   毒性  
 
容器バルブ
Cylinder Valve
22mm
PF1/4

右(0.35L)
SUS(D)
圧力調整器
Regulator
TUSシリーズ

Si3H8 R
99.99% Research
注 釈 カタログ ( Catalog ) MSDS
MSDS (Si3H8)

SiH2Cl2
Dichlorosilane
ジクロロシラン
可燃性 毒性 腐食性
 
容器バルブ
Cylinder Valve
22mm
SUS(D)
 
SiH2Cl2 R
99.5% Research
注 釈 別名 二塩化シラン
※製品は容器内が減圧にならないよう高純度アルゴン
(99.9995%min)にて最大0.2MPaに加圧して出荷致します。
MSDS
MSDS (SiH2Cl2)

WF6
Tungsten Hexafluoride
六フッ化タングステン
支燃性 毒性 腐食性
 
容器バルブ
Cylinder Valve
22mm
SUS(D)
 
WF6 R
99.999% Research
注 釈 *他に金属分析データもあります。お問い合わせ下さい。 MSDS
MSDS (WF6)