![質量比混合法標準ガス Gravimatric Mixture Standard Gases](images/Organometallics_title.gif)
高千穂では、化合物半導体用やシリコン系半導体用の有機金属材料を取り扱っております。
下記以外の材料についてもご相談下さい。
トリメチルアルミニウムは混合ガスの製造も承ります。詳細については最寄の営業所に、お問い合わせ下さい。
At Takachiho, we supply various organometallics for compound semiconductors and silicon-based semiconductors.
Please also inquire about materials not listed below.
We are also able to
supply Trimethylaluminium mixture gases.Please feel free to inquire us
of the price and availability.
系 |
有機金属名称 |
化学式
Chemical Formula
|
呼称
Abbrv. |
分子量
Mlc.Wt. |
沸点
B.P. |
融点
B.P. |
比重
Wt. Ratio |
ガリウム系 |
トリメチルガリウム |
(CH3)3Ga |
TMG |
114.83 |
55.7℃ |
15.8℃ |
1.151 |
トリエチルガリウム |
(C2H5)3Ga |
TEG |
156.91 |
142.6℃ |
-82.3℃ |
1.0576 |
アルミニウム系 |
トリメチルアルミニウム |
(CH3)3Al |
TMA |
72.09 |
127℃ |
15.4℃ |
0.752 |
トリエチルアルミニウム |
(C2H5)3Al |
TEA |
114.17 |
187℃ |
-46℃ |
0.837 |
ジメチルアルミニウムハイドライド |
H(CH3)2Al |
DMAH |
58.059 |
154℃ |
65℃ |
|
トリイソブチルアルミニウム |
(isoC4H9)3Al |
TIBA |
198.33 |
130℃ |
4℃ |
0.787 |
インジウム系 |
トリメチルインジウム |
(CH3)3In |
TMI |
159.9 |
136℃ |
88.4℃ |
1.568 |
トリエチルインジウム |
(C2H5)3In |
TEI |
202.0 |
184℃ |
-32℃ |
1.26 |
亜鉛系 |
ジメチル亜鉛 |
(CH3)2Zn |
DMZ |
95.45 |
44℃ |
-42℃ |
1.386 |
ジエチル亜鉛 |
(C2H5)2Zn |
DEZ |
123.50 |
118℃ |
-28℃ |
1.2065 |
砒素系 |
トリメチル砒素 |
As(CH3)3 |
TMAs |
120.03 |
51℃ |
-87.3℃ |
1.124 |
トリエチル砒素 |
As(C2H5)3 |
TEAs |
162.106 |
140℃ |
-91℃ |
1.15 |
ターシャリブチルアルシン |
C4H11As |
TBA |
134 |
69℃ |
-1.0℃ |
1.0 |
リン系 |
トリエチルリン |
P(C2H5)3 |
TEP |
118.16 |
127.5℃ |
-88℃ |
0.800 |
ジエチルホスフィン |
P(C2H5)2H |
DEP |
|
85℃ |
|
|
ターシャリブチルホスフィン |
C4H11P |
TBP |
90 |
56.1℃ |
4.0℃ |
0.736 |
ホウ素系 |
トリメチルホウ素 |
B(CH3)3 |
TMB |
55.92 |
-20.2℃ |
-161.5℃ |
0.63 |
トリエチルホウ素 |
B(C2H5)3 |
TEB |
97.99 |
95℃ |
-93℃ |
0.685 |
トリメチルボレート |
(CH3O)3B |
TMOB |
103.92 |
68.7℃ |
-29℃ |
0.915 |
シリコン系 |
テトラエトキシシラン |
Si(OC2H5)4 |
TEOS |
208.33 |
165.8℃ |
-77℃ |
0.9356 |
チタン系 |
テトラキスジメチルアミノチタン |
[(CH3)2N]4Ti |
TDMAT |
224.21 |
分解 |
|
1.0 |
|