半導体製造用ガス Semiconductor Gases

(CH3)3SiH
Trimethylsilane
トリメチルシラン
可燃性 毒性
 
容器バルブ
Cylinder Valve
22mm
PF1/4

右(0.35L)
SUS(D)
圧力調整器
Regulator
TUSシリーズ

(CH3)3SiH R
99.97% Research
注 釈

CH3SiH3
Monomethylsilane
モノメチルシラン
可燃性 毒性
 
容器バルブ
Cylinder Valve
22mm
PF1/4

右(0.35L)
SUS(D)
圧力調整器
Regulator
TUSシリーズ

CH3SiH3 R
99.97% Research
注 釈

GeF4
Germanium Tetrafluoride
四フッ化ゲルマニウム
不燃性 毒性 腐食性
 
容器バルブ
Cylinder Valve
22mm
PF1/4

右(0.35L)
SUS(D)
 
GeF4 R
99.99% Research
注 釈 別名 四フッ化ゲルマン