半導体製造用ガス Semiconductor Gases

NH3
Ammonia
アンモニア
可燃性 毒性 腐食性
 
容器バルブ
Cylinder Valve
22mm 右,左
SUS(D)
圧力調整器
Regulator
TUSシリーズ
 
NH3 R
99.999% Research
注 釈 *圧力調整器についてはアンモニア専用品をご指定下さい。

N2O
Nitrous Oxide
亜酸化窒素
支燃性
 
容器バルブ
Cylinder Valve
22mm
B
圧力調整器
Regulator
TUSシリーズ
 
N2O R
99.999% Research
注 釈 別名 笑気ガス

NO
Nitric Oxide
一酸化窒素
支燃性 毒性
 
容器バルブ
Cylinder Valve
22mm
SUS,SUS(D)
圧力調整器
Regulator
TUSシリーズ
 
NO S
99.99% Special
NO R
99.9% Research
注 釈 *METAL Al<30,Cu<10,Fe<10,Mg<1,
Mn<2,Na<100,Ni<15,Pb<50,Zn<3(ppb/wt)