半導体製造用ガス Semiconductor Gases

SiF4
Silicon Tetrafluoride
四フッ化ケイ素
不燃性 毒性 腐食性
　
容器バルブ
Cylinder Valve
22mm
PF1/4		 右
右(0.35L)
SUS(D)
圧力調整器
Regulator
TUSシリーズ

SiF4 R
99.999% Research
注　釈

Si2H6
Disilane
ジシラン
可燃性 毒性
　
容器バルブ
Cylinder Valve
22mm 左
SUS(D),B(D)
圧力調整器
Regulator
TUSシリーズ
 
Si2H6 R
99.99% Research
注　釈

SiH4
Monosilane
モノシラン
可燃性 毒性
　
容器バルブ
Cylinder Valve
22mm
PF1/4		 左
右(0.35L)
SUS(D),B(D)
圧力調整器
Regulator
TUSシリーズ

SiH4 R
99.999% Research
注　釈 別名　水素化ケイ素、シラン