混合ガスとは、各種高純度ガスを原料として混合したものです。
*充填圧力は11.8MPaを原則としています。また、ガスの種類・濃度によって充填圧力がさらに低くなることがあります。
*ガスの種類により製造可能な濃度範囲は異なります。
2種成分混合ガス製造の可否を表(Table-1)に示します。
Mixture gases listed here are manufactured by blending high purity gases.
* Standard fill pressure is 11.8MPa. However, maximum fill pressure may be lower depending on gases and concentrations.
* The range of available concentration is different by gases.
The product availability of 2 kinds of mixture gases is listed below as Table-1.
Table-1
化学式
Chemical Formula |
成分名 |
Component |
バランスガス Balance gas |
N2 |
He |
Ar |
H2 |
Air |
Ar |
アルゴン |
Argon |
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- |
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AsH3 |
アルシン |
Arsine |
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![×](images/cross.gif) |
B2H6 |
ジボラン |
Diborane |
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![○](images/circle.gif) |
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![×](images/cross.gif) |
BCl3 |
三塩化ホウ素 |
Boron trichloride |
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![×](images/cross.gif) |
BF3 |
三フッ化ホウ素 |
Boron trifluoride |
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![○](images/circle.gif) |
![×](images/cross.gif) |
|
Cl2 |
塩素 |
Chlorine |
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![○](images/circle.gif) |
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![×](images/cross.gif) |
CO |
一酸化炭素 |
Carbon monoxide |
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![○](images/circle.gif) |
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CO2 |
二酸化炭素 |
Carbon dioxide |
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![○](images/circle.gif) |
![○](images/circle.gif) |
COS |
硫化カルボニル |
Carbonyl sulfide |
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![○](images/circle.gif) |
![×](images/cross.gif) |
![×](images/cross.gif) |
D2 |
重水素 |
Deuterium |
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![○](images/circle.gif) |
![○](images/circle.gif) |
![×](images/cross.gif) |
![▽](images/triangle.gif) |
F2 |
フッ素 |
Fluorine |
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![○](images/circle.gif) |
![○](images/circle.gif) |
![×](images/cross.gif) |
![×](images/cross.gif) |
GeH4 |
ゲルマン |
Germane |
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![○](images/circle.gif) |
![○](images/circle.gif) |
![○](images/circle.gif) |
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H2 |
水素 |
Hydrogen |
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![○](images/circle.gif) |
- |
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H2S |
硫化水素 |
Hydrogen sulfide |
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![▽](images/triangle.gif) |
H2Se |
セレン化水素 |
Hydrogen selenide |
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![○](images/circle.gif) |
![○](images/circle.gif) |
![×](images/cross.gif) |
HBr |
臭化水素 |
Hydrogen bromide |
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![×](images/cross.gif) |
HCl |
塩化水素 |
Hydrogen chloride |
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![○](images/circle.gif) |
![○](images/circle.gif) |
![×](images/cross.gif) |
![×](images/cross.gif) |
He |
ヘリウム |
Helium |
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- |
![○](images/circle.gif) |
![○](images/circle.gif) |
![○](images/circle.gif) |
Kr |
クリプトン |
Krypton |
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![○](images/circle.gif) |
N2 |
窒素 |
Nitrogen |
- |
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![○](images/circle.gif) |
![○](images/circle.gif) |
- |
N2O |
亜酸化窒素 |
Nitrous oxide |
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![○](images/circle.gif) |
Ne |
ネオン |
Neon |
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![○](images/circle.gif) |
NF3 |
三フッ化窒素 |
Nitrogen trifluoride |
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![○](images/circle.gif) |
NH3 |
アンモニア |
Ammonia |
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![○](images/circle.gif) |
![○](images/circle.gif) |
![▽](images/triangle.gif) |
NO |
一酸化窒素 |
Nitric oxide |
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![○](images/circle.gif) |
![○](images/circle.gif) |
![×](images/cross.gif) |
![×](images/cross.gif) |
NO2 |
二酸化窒素 |
Nitrogen dioxide |
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![○](images/circle.gif) |
![×](images/cross.gif) |
![○](images/circle.gif) |
O2 |
酸素 |
Oxygen |
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![○](images/circle.gif) |
![○](images/circle.gif) |
![×](images/cross.gif) |
- |
PH3 |
ホスフィン |
Phosphine |
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![○](images/circle.gif) |
![○](images/circle.gif) |
![×](images/cross.gif) |
SF6 |
六フッ化硫黄 |
Sulfur hexafluoride |
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![○](images/circle.gif) |
![○](images/circle.gif) |
![×](images/cross.gif) |
![○](images/circle.gif) |
Si2H6 |
ジシラン |
Disilane |
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![○](images/circle.gif) |
![○](images/circle.gif) |
![○](images/circle.gif) |
![×](images/cross.gif) |
SiF4 |
四フッ化ケイ素 |
Silicon tetrafluoride |
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![○](images/circle.gif) |
![○](images/circle.gif) |
![×](images/cross.gif) |
![×](images/cross.gif) |
SiH2Cl2 |
ジクロロシラン |
Dichlorosilane |
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![○](images/circle.gif) |
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![×](images/cross.gif) |
SiH4 |
モノシラン |
silane |
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![○](images/circle.gif) |
![○](images/circle.gif) |
![×](images/cross.gif) |
SO2 |
二酸化硫黄 |
Sulfur dioxide |
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![○](images/circle.gif) |
![×](images/cross.gif) |
![○](images/circle.gif) |
Xe |
キセノン |
Xenon |
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![○](images/circle.gif) |
![○](images/circle.gif) |
(CH3)2Zn |
ジメチル亜鉛 |
Dimethylzinc |
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![○](images/circle.gif) |
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CH3SiH3 |
モノメチルシラン |
Monomethylsilane |
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![○](images/circle.gif) |
![×](images/cross.gif) |
(CH3)3SiH |
トリメチルシラン |
Trimethylsilane |
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![○](images/circle.gif) |
![○](images/circle.gif) |
![×](images/cross.gif) |
CH4 |
メタン |
Methane |
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CH3Br |
臭化メチル |
Methyl bromide |
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![×](images/cross.gif) |
CH2Br2 |
ジブロモメタン |
Dibromomethane |
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![▽](images/triangle.gif) |
CH3OH |
メチルアルコール |
Methyl alcohol |
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![▽](images/triangle.gif) |
CH3SH |
メチルメルカプタン |
Methyl mercaptan |
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![○](images/circle.gif) |
![×](images/cross.gif) |
![×](images/cross.gif) |
C2H6 |
エタン |
Ethane |
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![▽](images/triangle.gif) |
C2H4 |
エチレン |
Ethylene |
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![○](images/circle.gif) |
![○](images/circle.gif) |
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![▽](images/triangle.gif) |
C2H2 |
アセチレン |
Acetylene |
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![○](images/circle.gif) |
![×](images/cross.gif) |
![×](images/cross.gif) |
C2H4O |
酸化エチレン |
Ethylene oxide |
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![○](images/circle.gif) |
![×](images/cross.gif) |
![×](images/cross.gif) |
C2H5OH |
エチルアルコール |
Ehtyl alcohol |
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![○](images/circle.gif) |
![×](images/cross.gif) |
![▽](images/triangle.gif) |
CH2CHCl |
塩化ビニル |
Vinyl chloride |
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![○](images/circle.gif) |
![○](images/circle.gif) |
![×](images/cross.gif) |
![×](images/cross.gif) |
(CH3)2O |
ジメチルエーテル |
Dimethyl ether |
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![○](images/circle.gif) |
![○](images/circle.gif) |
![×](images/cross.gif) |
![×](images/cross.gif) |
(CH3)2S |
ジメチルサルファイド |
Dimethyl sulfide |
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![○](images/circle.gif) |
![○](images/circle.gif) |
![×](images/cross.gif) |
![×](images/cross.gif) |
C3H8 |
プロパン |
Propane |
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![○](images/circle.gif) |
![○](images/circle.gif) |
![×](images/cross.gif) |
![▽](images/triangle.gif) |
C3H6 |
プロピレン |
Propylene |
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![○](images/circle.gif) |
![○](images/circle.gif) |
![×](images/cross.gif) |
![▽](images/triangle.gif) |
n-C4H10 |
ブタン |
Butane |
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![○](images/circle.gif) |
![×](images/cross.gif) |
![▽](images/triangle.gif) |
i-C4H10 |
イソブタン |
Isobutane |
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![○](images/circle.gif) |
![×](images/cross.gif) |
![▽](images/triangle.gif) |
1-C4H8 |
1-ブテン |
1-Butene |
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![○](images/circle.gif) |
![×](images/cross.gif) |
![▽](images/triangle.gif) |
i-C4H8 |
イソブテン |
2-Methylpropene |
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![○](images/circle.gif) |
![○](images/circle.gif) |
![×](images/cross.gif) |
![▽](images/triangle.gif) |
1,3-C4H6 |
1,3-ブタジエン |
1,3-Butadiene |
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![○](images/circle.gif) |
![×](images/cross.gif) |
![×](images/cross.gif) |
n-C5H12 |
ペンタン |
Pentane |
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![○](images/circle.gif) |
![×](images/cross.gif) |
![▽](images/triangle.gif) |
i-C5H12 |
イソペンタン |
Isopentane |
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![○](images/circle.gif) |
![×](images/cross.gif) |
![▽](images/triangle.gif) |
neo-C5H12 |
ネオペンタン |
Neopentane |
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![○](images/circle.gif) |
![○](images/circle.gif) |
![×](images/cross.gif) |
![▽](images/triangle.gif) |
C6H6 |
ベンゼン |
Benzene |
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![○](images/circle.gif) |
![○](images/circle.gif) |
![×](images/cross.gif) |
![▽](images/triangle.gif) |
n-C6H14 |
ヘキサン |
Hexane |
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![○](images/circle.gif) |
![○](images/circle.gif) |
![×](images/cross.gif) |
![▽](images/triangle.gif) |
C7H8 |
トルエン |
Toluene |
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![○](images/circle.gif) |
![○](images/circle.gif) |
![×](images/cross.gif) |
![▽](images/triangle.gif) |
m-C6H4(CH3)2 |
メタキシレン |
m-Xylene |
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![○](images/circle.gif) |
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![▽](images/triangle.gif) |
o-C6H4(CH3)2 |
オルトキシレン |
o-Xylene |
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![○](images/circle.gif) |
![×](images/cross.gif) |
![▽](images/triangle.gif) |
p-C6H4(CH3)2 |
パラキシレン |
p-Xylene |
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![▽](images/triangle.gif) |
CF4 |
フロン-14 |
Tetrafluoromethane |
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CHCl2F |
フロン-21 |
Dichlorofluoromethane |
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![×](images/cross.gif) |
CHClF2 |
フロン-22 |
Chlorodifluoromethane |
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![×](images/cross.gif) |
![×](images/cross.gif) |
CHF3 |
フロン-23 |
Trifluoromethane |
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![×](images/cross.gif) |
CH2F2 |
フロン-32 |
Difluoromethane |
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![○](images/circle.gif) |
![×](images/cross.gif) |
![×](images/cross.gif) |
C2F6 |
フロン-116 |
Hexafluoroethane |
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![○](images/circle.gif) |
![×](images/cross.gif) |
![×](images/cross.gif) |
C2HF5 |
フロン-125 |
Pentafluoroethane |
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![○](images/circle.gif) |
![×](images/cross.gif) |
![×](images/cross.gif) |
CH2FCF3 |
フロン-134a |
1,1,1,2-Tetrafluoroethane |
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![○](images/circle.gif) |
![×](images/cross.gif) |
![×](images/cross.gif) |
CClF2CH3 |
フロン-142b |
1-Chloro-1,1-difluoroethane |
![○](images/circle.gif) |
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![○](images/circle.gif) |
![×](images/cross.gif) |
![×](images/cross.gif) |
CH3CF3 |
フロン-143a |
1,1,1-Trifluoroethane |
![○](images/circle.gif) |
![○](images/circle.gif) |
![○](images/circle.gif) |
![×](images/cross.gif) |
![×](images/cross.gif) |
C3F8 |
フロン-218 |
Perfluoropropane |
![○](images/circle.gif) |
![○](images/circle.gif) |
![○](images/circle.gif) |
![×](images/cross.gif) |
![×](images/cross.gif) |
:製造可能です。
:製造可能ですが「可燃性ガス+支燃性ガス」の為、混合濃度に制限があります。
:製造不可です。
記載されていないガスにつきましては、お問い合わせください。
: Available.
: Available, but mixture concentration is limited because it is a mixture of flammable and oxidizer gases.
: Unavailable.
Please inquire us about gases not listed here.
- 容器バルブ
- 混合ガスの濃度・充填圧力・容器サイズ・バルブ種類につきましては、お問い合わせください。
- 圧力調整器
- 圧力調整器につきましては製品項目をご覧ください。
- その他の仕様
- その他のガス、仕様につきましても可能な限り供給いたしますのでご相談ください。
- Cylinder Valves
- Please inquire us about concentration, fill pressure, cylinder and valve size of mixtures.
- Regulator
- Please see Regulator(Gases related apparatus).
- Other Special Specifications
- Please inquire us for other gases and specifications. We try to meet your specific requirements as much as possible.
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