無機系ガス Inorganic Gases
Argon アルゴン
Carbon Monoxide 一酸化炭素
Carbon Dioxide 二酸化炭素
Deuterium 重水素
Fluorine フッ素
Hydrogen 水素
Helium ヘリウム
Krypton クリプトン
Nitrogen 窒素
Nitrous Oxide 亜酸化窒素
Neon ネオン
Ammonia アンモニア
Nitric Oxide 一酸化窒素
Oxygen 酸素
Sulfur Hexafluoride 六フッ化硫黄
Xenon キセノン
Nitrogen Dioxide 二酸化窒素
炭化水素系ガス Hydrocarbons
Methane メタン
Ethane エタン
Ethylene エチレン
Acetylene アセチレン
Propane プロパン
Propylene プロピレン
Methylacetylene メチルアセチレン
Cyclopropane シクロプロパン
n-Butane ノルマルブタン
Isobutane イソブタン
1-Butene 1-ブテン
cis-2-Butene シス-2-ブテン
trans-2-Butene トランス-2-ブテン
Isobutene イソブテン
Ethylacetylene エチルアセチレン
1,3-Butadiene 1,3-ブタジエン
n-Pentane ノルマルペンタン
Isopentane イソペンタン
Neopentane ネオペンタン
Dimethyl Ether ジメチルエーテル
フロン系ガス Fluorocarbons
Tetrafluoromethane フロン-14
Chlorodifluoromethane フロン-22
Trifluoromethane フロン-23
Difluoromethane フロン-32
Hexafluoroethane フロン-116
Pentafluoroethane フロン-125
1,1,1,2-Tetrafluoroethane フロン-134a
1-Chloro-1,1-difluoroethane フロン-142b
1,1,1-Trifluoroethane フロン-143a
Perfluoropropane フロン-218
半導体製造用ガス Semiconductor Gases
Arsine アルシン
Boron Trichloride 三塩化ホウ素
Boron-11 Trifluoride エンリッチボロン
Boron Trifluoride 三フッ化ホウ素
Diborane ジボラン
Perfluoropropane パーフロロプロパン
Tetrafluoromethane 四フッ化メタン
Difluoromethane 二フッ化メタン
Trifluoromethane 三フッ化メタン
Trimethylsilane トリメチルシラン
Monomethylsilane モノメチルシラン
Germanium Tetrafluoride 四フッ化ゲルマニウム
Germane ゲルマン
Hydrogen Selenide セレン化水素
Nitrogen Trifluoride 三フッ化窒素
Ammonia アンモニア
Nitrous Oxide 亜酸化窒素
Nitric Oxide 一酸化窒素
Phosphorous Trifluoride 三フッ化リン
Phosphine ホスフィン
Sulfur Hexafluoride 六フッ化硫黄
Silicon Tetrafluoride 四フッ化ケイ素
Disilane ジシラン
Monosilane モノシラン
Trisilicon Octahydride トリシラン
Dichlorosilane ジクロロシラン
Tungsten Hexafluoride 六フッ化タングステン
液化ハイドロカーボン
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