无机系气体 Inorganic Gases　

• Argon 氩
• Carbon Monoxide 一氧化碳
• Carbon Dioxide 二氧化碳
• Deuterium 氘
• Fluorine 氟素
• Hydrogen 氢
• Helium 氦气
• Krypton 氪
• Nitrogen 氮气
• Nitrous Oxide 氧化亚氮
• Neon 氖
• Ammonia 氨
• Nitric Oxide 一氧化氮
• Oxygen 氧气
• Sulfur Hexafluoride 硫磺六氟化合物
• Xenon 氙

　氢氧化合物系气体 Hydrocarbons　

• Methane 甲烷
• Ethane 乙烷
• Ethylene 乙烯
• Acetylene 乙炔
• Propane 丙烷
• Propylene 丙烯
• Methylacetylene 丙炔
• Cyclopropane 环丙烷
• n-Butane 正丁烷
• Isobutane 异丁烷
• 1-Butene 1-丁烯
• cis-2-Butene 顺式-2-丁烯
• trans-2-Butene 反式-2-丁烯
• Isobutene 异丁
• Ethylacetylene 乙基乙炔
• 1,3-Butadiene 1,3-丁二烯
• n-Pentane 戊烷
• Isopentane 异戊烷
• Neopentane 二甲基丙烷
• Dimethyl Ether 二甲

　氟利昂系气体 Fluorocarbons　

• Tetrafluoromethane 四氟化碳
• Chlorodifluoromethane 一氯二氟甲烷 (氟里昂22)
• Trifluoromethane 三氟甲烷
• Difluoromethane 二氟甲烷
• Hexafluoroethane 六氟乙烷
• Pentafluoroethane 五氟乙烷
• 1,1,1,2-Tetrafluoroethane 1,1,1,2-四氟乙烷
• 1-Chloro-1,1-difluoroethane 1,1-二氟-1-氯乙烷
• 1,1,1-Trifluoroethane 1,1,1-三氟乙烷
• Perfluoropropane 八氟丙烷

　半导体制造用气体 Semiconductor Gases　

• Arsine 砷化氢
• Boron Trichloride 三氯化硼
• Boron-11 Trifluoride 三溴化硼（１１）
• Boron Trifluoride 三氯化硼
• Diborane 乙硼烷
• Perfluoropropane 八氟丙烷
• Tetrafluoromethane 四氟化碳
• Difluoromethane 二氟甲烷
• Trifluoromethane 三氟甲烷
• Trimethylsilane 三甲基硅烷
• Monomethylsilane 甲基矽甲烷
• Germanium Tetrafluoride 四氢化锗
• Germane 锗烷
• Hydrogen Selenide 硒化氢
• Nitrogen Trifluoride 三氟化氮
• Ammonia 氨气
• Nitrous Oxide 氧化亚氮
• Nitric Oxide 一氧化氮
• Phosphorous Trifluoride 三氟化磷
• Phosphine 磷化氢
• Sulfur Hexafluoride 硫磺六氟化合物
• Silicon Tetrafluoride 四氟化硅
• Disilane 乙硅烷
• Monosilane 甲基矽甲烷
• Trisilicon Octahydride 丙硅烷
• Dichlorosilane 二氯硅烷
• Tungsten Hexafluoride 六氟化钨

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